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產(chǎn)品中心

Product Center

無塵烘箱/干燥箱

產(chǎn)品簡介

無塵烘箱/干燥箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2023-07-04
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1630
詳細(xì)介紹在線留言
品牌其他品牌價格區(qū)間面議
儀器種類其他產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工,生物產(chǎn)業(yè)

無塵烘箱/干燥箱產(chǎn)品介紹:
無塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%,Class100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
產(chǎn)品用途:
無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
無塵烘箱/干燥箱產(chǎn)品參數(shù):
1、箱體結(jié)構(gòu):
1.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
1.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵;
1.3箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
1.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE;
1.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
2、溫控系統(tǒng)
2.1采用日本OMRONE5A型溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定,精確度±0.3%FS。;
2.2訊號來源:采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。
2.3輸出被控制組件:SSR無接點(diǎn)訊號輸出。
3、完善的安全保護(hù)措施:
漏電斷路器
控制線路保險(xiǎn)絲裝置
超溫防止保護(hù)裝置
電熱過電流保護(hù)裝置
馬達(dá)過電流保護(hù)
機(jī)臺異常蜂鳴器警示
逆向防止器
門面安全開關(guān)
4、選購設(shè)備:
4.1可程式溫控器
4.2六點(diǎn)溫度記錄儀
4.3三色指示燈
4.4烘烤架

名稱及型號

無塵烘箱WCHX-2D

無塵等級

Class100

溫度范圍

60~+300℃

溫度均勻度

200℃±3℃、300℃±4℃

溫度波動度

±0.5℃(空載)

溫控精度

±0.1℃

電源

380v,50Hz,12Kw

烘箱擱板為活動形式

兩箱式

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